①SU3900�(biāo)配多功能超大樣品倉,可應(yīng)對大型樣品的觀�
■樣品臺(tái)可搭載超�/超重樣品
通過更換樣品提示,可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
選配樣品交換�,可在主樣品倉保持真空的狀�(tài)下快速更換樣�,大大提高了工作效率
具備樣品�(tái)移動(dòng)限制解除功能,提高了自由度*
紅外CCD探測器,提高了樣品臺(tái)移動(dòng)的安全�
■支持全視野移動(dòng)。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀�
②隨著各種自�(dòng)化功能的�(qiáng)�,操作性能得到了�(jìn)一步優(yōu)��
■一�(gè)鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI
■各種自�(dòng)化功�
■Multi Zigzag,可�(shí)�(xiàn)多區(qū)域的大視野觀�
■Report Creator,可利用獲得的數(shù)�(jù)批量生成�(shù)�(jù)�(bào)�
③可提供滿足測試需求的�(yīng)用解決方�
■可滿足多種觀察需求的探測�
■配備了多功能超大樣品倉,可以搭載多種配件
■SEM/EDS一體化功能*
■三維顯示測量軟� Hitachi Map 3D*
■支持圖像測量軟件Image pro